超高纯电子特气系统中特气柜

全主动特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供给而设计的特气设备，通过SEMI S2认证，基本功能包含主动吹扫、主动切换以及紧迫状况下的主动安全堵截（当设定报警信号被触发时），首要用于安全稳定运送特种气体。

现在咱们来认识一下特气柜上的一些首要组成部分：

1. Swagelok气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不主张运用CDA（clean dry air），因GN2的供给体系比较稳定，不会因停电或运转设备故障而中止，此气源是用于主动或半主动的气动阀件开关。

2. Swagelok手动控制阀：首要用于第二道防护作为第二次确认用或检修，一般于供给气体的出口端。

3. Swagelok逆止阀(Swagelok单向阀)：防止特气倒灌到清洁用的PN2（高纯氮）体系和抽气用的GN2（普氮）体系。

4. Swagelok调压阀：用于调整供给体系的供给压力。

5. Swagelok压力传感器：是防护体系中非常重要的零件，透过它咱们可以判别管路是否走漏，相关阀件是否正常开关，一起亦可检知钢瓶的剩余量。

6. Swagelok真空产生器：使用GN2快速流动产生吸力，将管路中的气体抽出，以到达抽气的意图。　

7. Swagelok气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器，在出端会装比较细的过滤器，有用过滤气体中的颗粒，过滤器较不易吹扫，所以一般不主张装在常吹扫的管路中。

8. 过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测，若是超过设定值，即判别管路上或许很多走漏，进而封闭供给体系停止供气。

9.Swagelok限流孔：是一种简易又有用的过流量控制装置，用以约束很多气体流过，一般适用于出口处，其首要功用是避免很多的特殊气体排出，区域性的废气处理机无法处理的状况发生。

以上，就是关于超高纯电子特气体系中特气柜的首要组成部分的介绍了.